紫外线应用设备
TOC分解设备
紫外氧化设备主要应用于超纯水生产设备。为了在近年来小型化的半导体、晶圆、液晶面板等的生产中保持高成品率，尽可能去除水中TOC（有机物）等杂质的超纯水） 是必须的。
紫外线氧化器是后期与离子交换树脂一起生产超纯水不可缺少的设备，在许多电子厂都有使用。
■ 代表性分子的化学键能
■ 主波长能量
■ 分解公式
FOX 系列（水平）
FOV 系列（垂直）
FOV 系列（垂直）
这是一种通过高功率、低压水银灯产生的真空紫外线（184.9nm）高效照射，使水中的有机物氧化分解的装置。适用于降低ppb级TOC。
*我们将根据安装空间、处理量和所需的 TOC 浓度来选择型号。
臭氧水分解器
近年来，臭氧水因其强氧化力而被广泛用作半导体厂和LCD厂的清洗用水。但是，使用后的有毒臭氧水即使浓度很低也对人体有害，而且会导致配管内的填料劣化等给设施带来沉重的负担，因此需要尽快进行分解。OR系列可在短时间内将高浓度臭氧水分解至1ppm以下。它还可以有效降低运行成本和维护频率。
■使用示例
手术室系列
可用作活性炭吸附的替代品。
也可处理高浓度、大流量的设备。
我们有很多反汇编结果。
*根据处理量和臭氧浓度选择型号。
臭氧发生器
这是一种利用低压水银灯发出的真空紫外线（184.9 nm）将氧气（O2）臭氧化的装置。
由于它不产生氮氧化物，所以很容易产生干净的臭氧，不会造成光化学烟雾或对人体喉咙和气管产生不利影响的空气污染。
SO/PR系列
臭氧发生量：0.1～2.0g/h
体积小、结构紧凑。
低功耗和低维护成本。